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晶圓表面張力接觸角表面能分析檢測測量系統(tǒng)
  • 發(fā)布日期:2019-01-26      瀏覽次數(shù):1168
    • 晶圓表面分析檢測測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)
      晶圓表面分析檢測測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)詳情:
       晶圓表面分析檢測測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)適用于半導(dǎo)體晶圓(Wafer)工藝的質(zhì)量控制。該視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)提供晶圓(Wafers)表面的快速并準(zhǔn)確的接觸角/表面能分析,從而評(píng)估粘性,潔凈度及鍍膜。

      晶圓表面分析檢測測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)采用輕量化的設(shè)計(jì)、組裝方便的基于Windows™標(biāo)準(zhǔn)的用戶友好型軟件,以創(chuàng)建一個(gè)即容又容易使用的接觸角測量儀系統(tǒng)。

      視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)的注射滴液機(jī)制可以抬起便于裝載,消除了對晶圓(Wafers)可能產(chǎn)生的損壞。視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)用于晶圓表面分析,同時(shí)也可用于其它需要測量較大體積樣件的分析應(yīng)用。樣件大可允許 300 X 300 X 19mm。
      晶圓表面分析檢測測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)應(yīng)用 (包括但不限于):  

      • HMDS工藝的表面涂覆評(píng)估;
      •  表面污染物檢測;
      •  膠液&底漆制備;
      •  涂覆均勻性檢測;
      •  涂覆質(zhì)量評(píng)估;
      •  表面清潔度檢測;
      • 研究粘附性、潤濕特性、粘接質(zhì)量、表面處理和纖維、織物、聚合物、半導(dǎo)體晶片、硬盤、 平板顯示器和生物材料等表面涂層。
       •  吸收研究。
       晶圓表面分析檢測測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)采用了高精度攝像鏡頭和先進(jìn)的PC技術(shù)捕捉滴液的靜態(tài)或動(dòng)態(tài)圖像,并確定用于觸角測量的基礎(chǔ)切線。手動(dòng)或自動(dòng)注射器提供測試液體的簡易滴膠方式。 電腦化操作消除了人為錯(cuò)誤的畫線并能捕捉動(dòng)態(tài)圖像對時(shí)間敏感的分析。存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)中的數(shù)據(jù)和圖像用于后面的分析,并且容易轉(zhuǎn)移到其他應(yīng)用軟件上。
      視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)主要技術(shù)規(guī)格: 
      ●  基本系統(tǒng):視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)是一款手動(dòng)操作的接觸角測量儀系統(tǒng),可測量晶圓片(Wafers)大尺寸為300mm。動(dòng)態(tài)圖像捕捉速率為60幀/秒,視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)除了具備表面能分析功能以外,該系統(tǒng)還能實(shí)現(xiàn)滴液表面張力的分析。該接觸角測量儀系統(tǒng)配備電動(dòng)、可編程注射滴膠系統(tǒng)。視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)也可在超凈間操作使用。
      • 高分辨率攝像系統(tǒng),放大透鏡,高密度LED光源用于精密圖像捕捉
      • 300mm可旋轉(zhuǎn)工作平臺(tái),允許檢測晶圓各個(gè)方位
      • 高配PC控制系統(tǒng),配備高性能顯卡,用于圖像分析及視頻捕捉
      • 高清平板顯示器,用于圖像輸出顯示

      ●  視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)軟件基本功能特性:
      • 接觸角成像及計(jì)算的自動(dòng)化
      • 動(dòng)態(tài)滴液捕捉(以錄像方式觀看滴液)
      • 表面能(達(dá)因/厘米)分析功能
      • 統(tǒng)計(jì)過程控制
      • 懸滴法表面分析功能

      ●表面能(達(dá)因/厘米)軟件包:基于同樣基片上不同液體的接觸角,計(jì)算基片的表面能(達(dá)因/厘米),        列表出同一基片上不同液體的接觸角。并且用四中用戶可選的方法之一來自動(dòng)計(jì)算表面能,即齊斯曼法(Zisman)、幾何平均數(shù)法(Geometric Mean,), 調(diào)和平均數(shù)法(Harmonic Mean,),酸堿法(Acid-Base)。
      ● 圖像分析工作站(IAW):專門配備PC格式化用于圖像分析。

      ● 軟件:
      -> 基于Windows操作系統(tǒng)方便使用,增強(qiáng)的多功能性和易與其他程序接口;
      -> 時(shí)間間隔的圖像捕捉能力提供圖像捕捉及分析,基于用戶定義的時(shí)間事件分析間隔;
      -> 多個(gè)圖像同時(shí)瀏覽功能;
      -> 圖像滾動(dòng)&堆碼能力;
      -> 高速圖像捕捉可達(dá)60個(gè)圖像/秒。
      ● 成像軟件:自動(dòng)灰度分析成像系統(tǒng)捕捉實(shí)際液滴圖像和自動(dòng)計(jì)算接觸角,而無需人工干預(yù)。 接觸角切線和電腦生成的水滴形曲線 擬合同時(shí)顯示在視頻圖像上,便于用戶查看及分析。
      ● 滴液表面張力分析)軟件:采取垂滴圖像分析方法,通過視頻影像數(shù)字化和數(shù)字  曲線擬合,采用毛細(xì)拉普拉斯方程確定表面張力(或界面張力)。

      ● 微量注射器-三套
      ● 微量注射器針頭-五套
      ● SPC(統(tǒng)計(jì)過程控制)軟件:在一個(gè)易于使用的圖表中自動(dòng)記錄接觸角、液滴的高度,寬度,體積和面積。 即時(shí)顯示統(tǒng)計(jì)值平均值和標(biāo)準(zhǔn)偏差,作為數(shù)據(jù)輸入。所有的數(shù)據(jù)都可被打印, 保存和/或轉(zhuǎn)出進(jìn)一步分析或成像在其他 軟件程序之中。
      ● 軟件:瀏覽接觸角度、寬度和高度,潤濕面積和體積的彩色圖表。數(shù)據(jù)和圖表可以存儲(chǔ)、打印和編輯。

      ● 電動(dòng)注射器組件:電腦控制自動(dòng)滴液分配系統(tǒng),用于標(biāo)準(zhǔn)注射器。提供可重復(fù)用戶定義液體體積分配。
      ●視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)晶圓(Wafer)樣件工作平臺(tái):
      ->  圓形樣件平臺(tái)尺寸:直徑12英寸(304.80毫米);
      ->  可接納檢測晶圓片尺寸:4英寸、6英寸、8英寸及12英寸;
      ->  光軸移動(dòng):6英寸手動(dòng)滑動(dòng)卡鎖;
      ->  垂直于光軸運(yùn)動(dòng):6英寸撥動(dòng);
      ->  垂直移動(dòng)距離:2英寸波動(dòng);
      ->  工作平臺(tái)旋轉(zhuǎn)角度:360度旋轉(zhuǎn),行星軸承支持手動(dòng)旋轉(zhuǎn);
      ● 校準(zhǔn)網(wǎng)格
      ● 顯示器
      ● 電源220VAC

    聯(lián)系方式
    • 電話

      010-87681080

    • 傳真

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